湖北半自动FOUP清洗机哪个好

FOUP清洗机特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可装载于清洗篮之制品。伺服马达驱动,设有扭力侦测安全机构，防止人为误操作造成损坏及危险。具备停机自动归位功能，方便装载清洗制品。旋干制程中除IR干燥外，运用气流干燥，可加速去除较大水滴，增进干燥效果; 进而提升效率。

应用范围：该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。

分类：

全自动FOUP清洗机、半自动foup清洗机。

4寸~12寸全尺寸兼容，快速实现干进干出，30~60分钟完成1次清洗工艺节拍，更大吞吐量 江苏芯梦是您身边专业的晶圆盒清洗设备制造商！湖北半自动FOUP清洗机哪个好

FOUP内油脂和有机物的去除方法可以采取以下措施：清洗剂清洗：使用适当的清洗剂可以有效去除FOUP内的油脂和有机物。选择合适的清洗剂，根据FOUP的材料和所需清洗的有机物类型来确定。清洗剂通常会溶解或分解油脂和有机物，并通过冲洗或浸泡的方式将其从FOUP表面去除。超声波清洗：超声波清洗不仅可用于去除颗粒物，也可用于去除FOUP内的油脂和有机物。超声波的震动作用可以在微小尺度上产生冲击波，从而将油脂和有机物从FOUP表面剥离。蒸汽清洗：蒸汽清洗是一种将热蒸汽引入FOUP内部的方法，利用高温和湿热的效果去除油脂和有机物。蒸汽可以使油脂和有机物软化，从而更容易被清洗剂或冲洗水带走。溶剂清洗：一些有机物可以通过溶剂清洗来去除。选择适当的溶剂，如酒精、异丙醇等，根据有机物的性质进行清洗。溶剂可以帮助溶解和分离油脂和有机物，然后通过冲洗或浸泡的方式将其去除。气相清洗：气相清洗使用气体，如氮气或惰性气体，通过高速喷射或气流吹扫的方式，将油脂和有机物从FOUP表面带走。气相清洗适用于较轻的污染物和难以直接接触的区域。吉林全自动片盒清洗机商家选择芯梦产品，您将会享受到更加便捷和高效的生活和工作！

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测。可预设多条Recipe，操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。

对于晶圆加工的各个环节而言，清洗工艺都是必不可少的基本工序，随着芯片制造工艺先进程度的持续提升，对晶圆表面污染物的控制要求也在不断提高，清洗工序也不断向精细化发展，而对清洗设备的需求也在相应增加。

据SEMI的数据预测，到2025年，中国在半导体行业的设备采购将达到345亿美元，占全球三分之一，其中FOUP盒清洗设备采购占有很大比例，而目前国内品牌在这一领域还几乎处于空白状态，主要依靠美系和日系产品，可以说国内的FOUP盒清洁设备还是一片蓝海。面对巨大的机遇与挑战，江苏芯梦半导体设备有限公司迎难而上，开发了拥有自主知识产权的FOUP盒清洁设备，填补了国内行业空白。

快来体验这款产品带来的惊喜吧！

辅助功能和操作控制

触摸屏安装在前面一标准化

也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制一选项

其他特征

工艺腔室内LED灯光照明

可安装去静电装置和电阳率监测装置选项

稳定、亚光不锈钢笼子

材料的外壳一可选择符合FM4910标准

PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准

设备前面带有滑动门一标准化为手动/可选择自动

设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面

易于操作和控制

10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口

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产品介绍：FOUP清洗机是一种自动的离心清洗机，适用于所有类型的晶圆料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以实现良好的清洗和干燥效果。 装载有待清洗的foup,在Chamber的中心转轴上安装和固定,在封闭的清洗室内360 正 反转动。由DI Water的表面张力、机械力进行Particle清洗, 离心＋热风进行烘干等工艺组成，高效率、高质量完成foup的ParticFOUP清洗机,Casstte清洗机,FOSB清洗机,离心清洗机,晶圆清洗机,清洗干燥,360正反转动清洗机,离心热风洪干清洗机。湖北半自动FOUP清洗机哪个好

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